主要特点
此套设备是SGM TF-1200C的开启式真空管式炉和前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助硫粉蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精度,操作简便。左端配有法兰支撑架可将预热器和硫化炉分开使用。右端可配气氛微调装置,可以准确的反应炉体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好。
技术参数
硫粉预热器 |
型号:SGM TF-400C 工作温度:400℃ 额定温度:1100℃ 蕞快升温速率:30℃/min 推荐升温速率:10℃/min 控温方式:智能化30段可编程控制 工作电压:AC220V 额定功率:800W 控温精度:±1℃ 加热元件:电阻丝 尺寸:260*320*500mm |
硫化炉 |
额定功率(KW):3 额定电压(V):AC220v50/60Hz 额定温度(℃):1200(1hour) 持续工作温度(℃):1100 升温速率(℃/min):≤50 炉管尺寸(mm): 高纯石英管Φ50×1200mm 加热区长度(mm):440mm 恒温区长度(mm):200mm 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 控温精度(℃):±1 加热元件:电阻丝 电炉尺寸:590*380*500mm |
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