磁力推拉式二维材料制备CVD设备
主要特点
成熟的双温区硫化炉，配有磁力拉杆和石英蒸发舟，配合蒸发舟处的内探热电偶，可实现在实验过程中将固态源(如硫粉、硒粉等)推进加热区的同时可检温度，准确把握硫族元素蒸汽送入的时机，避免过早导致钼源表面形成硫化外壳难以升华或者过迟导致衬底表面钼源硫化不足。
技术参数
|
双温场管式炉SGM TF-1200C-II
|
额定功率 |
3kw |
|
炉管尺寸 |
高纯度石英管Φ50/60/80-100x1000mm （可选） |
|
|
极限温度 |
1200℃ |
|
|
工作温度 |
≤1100℃ |
|
|
温度控制器 |
PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率，30段可编程控制器 |
|
|
蕞快升温速率 |
≤10℃/min |
|
|
加热区 |
200+200mm |
|
|
恒温区 |
100+100mm |
|
|
控温精度 |
±1℃ |
|
|
电源 |
单相220V，交流50Hz |
|
|
3路质量流量供气系统
|
额定电压 |
185~245V/50Hz |
|
额定输出功率 |
18W |
|
|
流量计标准量程 |
100，200，500SCCM；（非特殊指定以氮气标定，量程可选定 |
|
|
工作温度 |
5~45ºC |
|
|
工作压差 |
0.1～0.5MPa |
|
|
额定压力 |
3MPa |
|
|
测量范围 |
-0.1~0.15MPa（0.01MPa/grid） |
|
|
气特性 |
气特性：1～4Sec，电特性：10Sec |
|
|
重复精度 |
±0.2% |
|
|
准确度 |
±1、5%FS |
|
|
针阀 |
316不锈钢 |
|
|
混气罐 |
Φ80×120mm |
|
|
截止阀 |
Φ6mm”316不锈钢针阀 |
|
|
尺寸 |
600*600*650mm |
|
|
低真空系统 |
空气相对湿度 |
≤85% |
|
工作电电压 |
220V±10%50~60HZ |
|
|
功率 |
500W |
|
|
抽气速率 |
8m³/h |
|
|
极限真空 |
4X10-2Pa |
|
|
实验真空度 |
1、0X10-1Pa |
|
|
容油量 |
1、1L |
|
|
进气/排气口径 |
KF25 |
|
|
噪音 |
50dB |
|
|
外形尺寸 |
600×600×600mm |
推荐内容
NEWS
