炉管尺寸：

外径Φ25/50/60/80-100*1000mm（可选）

极限温度：

1200℃

工作温度：

≤1100℃

温度控制器：

PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率，30段可编程控制器

升温速率：

≤50℃/min

加热区：

200+200mm

恒温区：

100+100mm

控温精度：

±1℃

电源：

单相220V，交流50Hz

3路质量流量供气系统

（触摸屏控制）

额定电压：

185~245V/50Hz

额定输出功率：

18W

流量计标准量程：

100，200，500SCCM；（非特殊指定以氮气标定，量程可选定）

工作温度：

5~45ºC

工作压差：

0.1～0.5MPa

额定压力：

3MPa

准确度：

±1、5%FS

低真空系统

抽速：

8、11m³/h

极限总压：

3×10-3mabr

进排气口：

DN25KF

噪音（气镇开关时，距离1米处测量）：

54dB

注油量：

0.7-1、1L

重量：

21Kg

工作温度：

10~40℃

功率：

550W