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○ 产品介绍
PECVD石墨烯薄膜制备系统借助13、56MHz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离，在真空腔体内形成等离子体，利用等离子体的强化学活性，改善反应条件，使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。PECVD石墨烯薄膜制备系统设备可以用于：石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种实验场所。
○ 适用范围
PECVD石墨烯薄膜制备系统设备可以用于：石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种实验场所。
○ 技术参数
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多温区加热系统
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序号
功能名称
技术要求
01
工作温度
室温～1200℃,长期工作温度≦1100℃
02
加热区长度
三温区加热，各温区可立控温，恒温区长度为550
03
控制模式
30段智能PID 多段程序控温
04
控温精度
±1℃
05
升温速率
0～20℃/min
06
测温元件
3支K型热电偶
07
温控保护
具有超温和断偶保护功能
08
炉管
高纯石英管，能耐长期1100℃工作温度
09
炉管尺寸
石英管外径100mm
10
炉膛结构
开启式
11
炉膛材料
纤维，保温性能好，反射率高，温场均匀
12
密封方式
真空不锈钢水冷法兰
13
阀门
KF25挡板阀
14
电源
380V/220V 50Hz
15
温度记录
可以实现温度曲线记录
16
炉壳温度
≦45℃
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单温区加热系统
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序号
功能名称
技术要求
01
工作温度
室温～1200℃,长期工作温度≦1100℃
02
加热区长度
单温区加热，恒温区长度为200mm
03
控制模式
30段智能PID 多段程序控温
04
控温精度
±1℃
05
升温速率
0～20℃/min
06
测温元件
K型热电偶
07
温控保护
具有超温和断偶保护功能
08
炉管
高纯石英管，能耐长期1100℃工作温度
09
炉管尺寸
石英管外径100mm
10
炉膛结构
开启式
11
炉膛材料
纤维，保温性能好，反射率高，温场均匀
12
密封方式
真空不锈钢水冷法兰
13
阀门
KF25挡板阀
14
电源
380V/220V 50Hz
15
温度记录
可实现温度曲线记录
16
炉壳温度
≦45℃
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RF输出系统
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序号
功能名称
技术要求
01
功率范围
0～500W连续可调
02
工作频率
13、56MHz+0.005％
03
工作模式
连续输出
04
显示模式
LCD
05
匹配阻抗范围
能够匹配，起辉辉光均匀布满三温区炉管
06
功率稳定度
≦2W
07
正常工作反射功率
≦3W
08
较大反射功率
≦70W
09
谐波分量
≦-50dBc
10
整机效率
≥70%
11
功率因素
≥90%
12
供电电压/频率
单相交流（187V～253V） 频率50/60HZ
13
控制模式
内控/PLC 模拟量/RS232/485 通讯
14
电源保护设置
DC 过流保护，功放过温保护，反射功率保护
15
冷却方式
强制风冷
16
起辉长度
在Ar下射频电源与线圈配合起辉辉光需能布满整个三温区的炉体长度
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气体流量控制
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序号
功能名称
技术要求
01
四路质子流量计
北京七星华创，质子流量计
02
流量范围
MFC1量程：0～200sccm MFC2量程：0～200sccm
MFC3量程：0～500sccm MFC4量程：0～500sccm
分别对应气体 H2、CH4、N2、Ar
03
测量精度
±1、5％F.S.
04
重复精度
±0.2% FS
05
线性精度
±1％F.S.
06
响应时间
≤4sec
07
工作压力
-0.15MPa～0.15MPa
08
流量控制
液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单控制
09
进气接口
可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管
10
出气接口
可接1/4NPS或外径6mm不锈钢管
11
连接方式
双卡套接头
12
工作温度
5～45℃
13
气体预混
配气体预混装置
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真空要求
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序号
功能名称
技术要求
01
真空泵
配置或国产真空泵，炉管背景真空达5×10-1Pa
02
系统漏率
≤1、4×10-3Pa.L/s
03
真空测量
Inficon防腐蚀超纯陶瓷传感器
04
真空测量范围
0.01Pa～1000Pa，测量精度0.2％
05
真空压力表
配置一个通用真空压力表用于系统真空粗测
06
连接管道
不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰与真空泵连接
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轨道功能
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序号
功能名称
技术要求
01
滑轨长度
2、5米～3米，能实现三温区炉子一个炉位长度的滑动，实现快速升降温
02
主要参数
手动滑动，可实现管式炉和等离子体发生器的滑动控制，达到快速降温，射频放射调节
03
特殊定制
轨道上安装方便拆卸的法兰支架，用以支撑炉管长度改变时的端口法兰；单温区炉子可以拆装至滑轨上与等离子体源配合使用；等离子体发生器可以拆卸
○ 滑轨需要满足的要求
（1）常用方式是：等离子体发生器+三温区炉配合，其中导轨可以让三温区炉有一个炉位的滑动；
（2）希望的搭配使用方式1是：等离子体发生器+单温区管式炉；
（3）希望的搭配使用方式2是：单温区管式炉+等离子体发生器+三温区炉（此时三温区炉不需要滑动快速升降温）
需要做到单温区炉体能够比较方便地装到（1）方式的滑轨上，并且石英管两端的法兰支架可以在导轨长度内调节，能满足不同炉管长度条件下对法兰的支撑。
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