微型PECVD系统

1、加热圈套有石英罩，以减小热量损失。

2、样品可置于加专线圈内，以达到更好的加热效率和温度均匀性。

3、采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序。

4、设有一滑动法兰安装于移动加上，以便于样品的放入和取出。

5、CE认证。

等离子源

1、等离子体射频电源：110/220V 50/60Hz <100W

2、输出频率：13、56MHz

3、射频功率：7、2W、10.5W、18W三档，可调节

4、腔体尺寸：外径Φ76、2mm×内径Φ68、58mm×长406、4mm

5、加热圈：电源220V，功率≤500W，外径Φ50mm×内径Φ40mm×70mm，并套有内径Φ50.8mm×

Φ75mm的石英罩

6、法兰：Φ3″不锈钢法兰，设有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接头、不锈钢针阀

7、通入气体：可通入多种惰性气体，如N₂、Ar，不可通入易燃易爆性气体

8、真空度：10^-2torr（机械泵）

两通道混气系统

1、浮子流量计：10-100ml/min，2个

2、针阀：304不锈钢针阀，3个

3、压力表：-0.1-1、0MPa（0.01MPa/grid），3个

真空泵

1、抽气速率：120L/min

2、接口：KF-25

1、尺寸：等离子源216mm×254mm×203mm，控制盒102mm×254mm×203mm，两通道混气系统340mm×

300mm×180mm，移动架600mm×600mm×1250mm

2、重量：32kg