铂金靶-洛阳高温电阻炉厂家

铂金靶

西格马高温电炉SIGMA FURNACE

概述:

产品名称:铂金靶

铂纯度:99、95%

重量:kg/块

规格型号:可根据用户需求来订制

产品简介及特点:靶材在溅射沉积技术中用作阴极的材料。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。铂金靶材通常是用铂钯合金制作而成,铂钯比例是80:20,纯度在99、99%以上。各种类型的溅射薄膜材料,在半导体集成电路(VLSI)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。

品名

铂金靶(Pt)

执行标准

GB/T 1419-2004

主金属含量(%)

99、99

99、95

杂质含量不大于(%)

Pt



Pd

0.003

0.01

Rh

0.003

0.02

Ir

0.003

0.02

Ru

0.003

0.02

Au

0.003

0.01

Ag

0.001

0.005

Cu

0.001

0.005

Fe

0.001

0.005

Ni

0.001

0.005

Al

0.003

0.005

Pb

0.002

0.005

Mn

0.002

0.005

Cr

0.002

0.005

Mg

0.002

0.005

Sn

0.002

0.005

Si

0.003

0.005

Zn

0.002

0.005

Bi

0.002

0.005













杂质总量不大于(%)

0.01

0.05



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